Гетеродинная лазерная интрферометрия для измерений наноперемещений

Телешевский, В. И.; Скрынник, А. А.; Гришин, С. Г.; Teleshevsky, V. I.; Skrynnik, A. A.; Grishin, S. G.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107598

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Телешевский, В. И.	ru
dc.contributor.author	Скрынник, А. А.	ru
dc.contributor.author	Гришин, С. Г.	ru
dc.contributor.author	Teleshevsky, V. I.	en
dc.contributor.author	Skrynnik, A. A.	en
dc.contributor.author	Grishin, S. G.	en
dc.date.accessioned	2022-01-26T10:44:52Z	-
dc.date.available	2022-01-26T10:44:52Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Телешевский В. И. Гетеродинная лазерная интрферометрия для измерений наноперемещений / В. И. Телешевский, А. А. Скрынник, С. Г. Гришин // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 32-33.	ru
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107598	-
dc.description.abstract	The laser heterodyne interference meter is more promising for non-contact measurements and has a high sensitivity in the 10-2-10-3 nm range, expressed in fractions of the wavelength of the laser radiation, with the ability to automate the acquisition and processing of measurement information. When determining the characteristics of an acousto-optic converter, it is necessary to use means that allow measuring absolute displacements of the surface of an object in a wide measurable dynamic range of 1-100 nm.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	УрФУ	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017	ru
dc.title	Гетеродинная лазерная интрферометрия для измерений наноперемещений	ru
dc.title.alternative	HETEROGENEOUS LASER INTRFERROMETRY FOR MEASUREMENT OF NANOMETRATION	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»	ru
dc.conference.date	15.05.2017-19.05.2017	-
local.description.firstpage	32
local.description.lastpage	33
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2017_015.pdf		309,09 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar