ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/107047| Название: | ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ |
| Другие названия: | X-RAY DIFFRACTION INVESTIGATION OF THE CRYSTAL STRUCTURE FEATURES OF THE THIN FILMS Al2O3 |
| Авторы: | Zhukova, M. O. Chukin, A. V. Жукова, М. О. Чукин, А. В. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | УрФУ |
| Библиографическое описание: | Жукова М. О. ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ / М. О. Жукова, А. В. Чукин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VII Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию Уральского федерального университета (Екатеринбург, 18–22 мая 2020 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2020. — C. 873-874. |
| Аннотация: | We study the crystal structure features of thin Al2O3 films obtained by magnetron sputtering. It shown that a mixture of α and γ phases of Al2O3 is formed in the film. Rietveld full-profile analysis was used to obtain phase models. Contributions of the α and γ phases of Al2O3 were obtained. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/107047 |
| Конференция/семинар: | VII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию Уральского федерального университета |
| Дата конференции/семинара: | 18.05.2020-22.05.2020 |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2020) |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2020_487.pdf | 209,74 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.