ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ

Zhukova, M. O.; Chukin, A. V.; Жукова, М. О.; Чукин, А. В.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107047

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Zhukova, M. O.	en
dc.contributor.author	Chukin, A. V.	en
dc.contributor.author	Жукова, М. О.	ru
dc.contributor.author	Чукин, А. В.	ru
dc.date.accessioned	2021-12-30T04:56:32Z	-
dc.date.available	2021-12-30T04:56:32Z	-
dc.date.issued	2020	-
dc.identifier.citation	Жукова М. О. ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ / М. О. Жукова, А. В. Чукин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VII Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию Уральского федерального университета (Екатеринбург, 18–22 мая 2020 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2020. — C. 873-874.	ru
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107047	-
dc.description.abstract	We study the crystal structure features of thin Al2O3 films obtained by magnetron sputtering. It shown that a mixture of α and γ phases of Al2O3 is formed in the film. Rietveld full-profile analysis was used to obtain phase models. Contributions of the α and γ phases of Al2O3 were obtained.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	УрФУ	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2020)	ru
dc.title	ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ	ru
dc.title.alternative	X-RAY DIFFRACTION INVESTIGATION OF THE CRYSTAL STRUCTURE FEATURES OF THE THIN FILMS Al2O3	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	VII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию Уральского федерального университета	ru
dc.conference.date	18.05.2020-22.05.2020	-
local.description.firstpage	873	-
local.description.lastpage	874	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
fti_2020_487.pdf		209,74 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.