ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ

Zhukova, M. O.; Chukin, A. V.; Жукова, М. О.; Чукин, А. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107047

Title:	ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ
Other Titles:	X-RAY DIFFRACTION INVESTIGATION OF THE CRYSTAL STRUCTURE FEATURES OF THE THIN FILMS Al2O3
Authors:	Zhukova, M. O. Chukin, A. V. Жукова, М. О. Чукин, А. В.
Issue Date:	2020
Publisher:	УрФУ
Citation:	Жукова М. О. ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Al2O3 МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ / М. О. Жукова, А. В. Чукин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VII Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию Уральского федерального университета (Екатеринбург, 18–22 мая 2020 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2020. — C. 873-874.
Abstract:	We study the crystal structure features of thin Al2O3 films obtained by magnetron sputtering. It shown that a mixture of α and γ phases of Al2O3 is formed in the film. Rietveld full-profile analysis was used to obtain phase models. Contributions of the α and γ phases of Al2O3 were obtained.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107047
Conference name:	VII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию Уральского федерального университета
Conference date:	18.05.2020-22.05.2020
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2020)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2020_487.pdf		209,74 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar