Исследование коэффициента жесткости и собственных частот микрокантилеверов для колебательных методик АСМ

Abstract

Исследовано влияние геометрических параметров кантилеверов из поликристаллического кремния прямоугольной и треугольной формы на нормальное отклонение и резонансную частоту. При изменении длины кантилеверов в диапазонах 60-300 и 50-200 мкм, толщины 0,5-2,5 мкм, сила прижима от 0,05 до 1,1 мкН амплитуда изменялась от 4 до 98 нм, а частота от 37-6907 кГц.

The influence of geometric parameters of polycrystalline silicon of I- and V- shapes cantilevers on the normal deflection and resonant frequency were investigation. The length of the cantilevers changed from 60 to 300 and 50-200 µm, thickness 0.5-2.5 µm, clamping force from 0.05 to 1.1 µH, amplitude varied from 4 to 98 nm, and the frequency from 37-6907 kHz.