Применение фокусированных ионных пучков для формирования АСМ-зондов

Abstract

Представлены результаты исследований по формированию острия зондов для АСМ методом фокусированных ионных пучков. Сформированы зонды для методики CD AFM с высотой острия около 1 мкм и радиусом – 20 нм. Применение таких зондов позволяет повысить точность измерения рельефа по сравнению со стандартными зондами.

The results of studies on the formation of the AFM probe tips using focused ion beams are presented. Probes for the CD AFM technique with a tip height of about 1 μm and a radius of 20 nm were formed. The use of such probes allows to improve the accuracy of the relief measurement in comparison with standard probes.