Применение фокусированных ионных пучков для формирования АСМ-зондов

Коломийцев, A. С.; Лисицын, С. А.; Федотов, А. А.; Kolomiytsev, A. S.; Lisitsyn, S. A.; Fedotov, A. A.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104208

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Коломийцев, A. С.	ru
dc.contributor.author	Лисицын, С. А.	ru
dc.contributor.author	Федотов, А. А.	ru
dc.contributor.author	Kolomiytsev, A. S.	en
dc.contributor.author	Lisitsyn, S. A.	en
dc.contributor.author	Fedotov, A. A.	en
dc.date.accessioned	2021-09-20T13:51:45Z	-
dc.date.available	2021-09-20T13:51:45Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Коломийцев A. С. Применение фокусированных ионных пучков для формирования АСМ-зондов / A. С. Коломийцев, С. А. Лисицын, А. А. Федотов // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 170 p.	ru
dc.identifier.isbn	978-5-9500624-0-7	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104208	-
dc.description.abstract	Представлены результаты исследований по формированию острия зондов для АСМ методом фокусированных ионных пучков. Сформированы зонды для методики CD AFM с высотой острия около 1 мкм и радиусом – 20 нм. Применение таких зондов позволяет повысить точность измерения рельефа по сравнению со стандартными зондами.	ru
dc.description.abstract	The results of studies on the formation of the AFM probe tips using focused ion beams are presented. Probes for the CD AFM technique with a tip height of about 1 μm and a radius of 20 nm were formed. The use of such probes allows to improve the accuracy of the relief measurement in comparison with standard probes.	en
dc.description.sponsorship	Работа выполнена в рамках Гранта Президента РФ для государственной поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук (Проект № МК-6163.2016.8).	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Ural Federal University	en
dc.relation.ispartof	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017	ru
dc.title	Применение фокусированных ионных пучков для формирования АСМ-зондов	ru
dc.title.alternative	Application of focused ion beams for the fabrication of AFM probes	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"	en
dc.conference.date	27.08.2017-30.08.2017	-
local.description.firstpage	170	-
local.description.lastpage	171	-
local.description.order	P-35	-
Располагается в коллекциях:	Scanning Probe Microscopy

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-9500624-0-7_2017_098.pdf		333,93 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.