Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/104175
Название: | Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра |
Другие названия: | Scanning Probe Microscopy of silicon layers after Ag+ implantation |
Авторы: | Рогов, А. М. Воробьев, В. В. Осин, Ю. Н. Нуждин, В. И. Валеев, В. Ф. Степанов, А. Л. Rogov, A. M. Vorobev, V. V. Osin, Y. N. Nuzhdin, V. I. Valeev, V. F. Stepanov, A. L. |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Ural Federal University |
Библиографическое описание: | Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра / А. М. Рогов, В. В. Воробьев, Ю. Н. Осин и др. // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 115 p. |
Аннотация: | Описан способ формирования нанопористого кремния на поверхности монокристаллического Si при имплантации ионами Ag+. Методами СЗМ и СЭМ показано, что в результате на поверхности Si формируются аморфные слои нанопористого кремния со средними размерами пор ~130 нм, в структуре которых синтезируются наночастицы Ag диаметром от 5 до 20 нм. An idea to create nanoporous silicon layers by low-energy high-dose Ag-ion implantation was realized. Surface structures were analyzed by scanning electron microscopy and scanning probe microscopy. It is shown that as a result there are a porous structure with a characteristic size ~130 nm on Si surface with Ag nanoparticles (diameter 5-20nm) inside. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/104175 |
Конференция/семинар: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research" |
Дата конференции/семинара: | 27.08.2017-30.08.2017 |
ISBN: | 978-5-9500624-0-7 |
Сведения о поддержке: | Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ № 17-12-01176. |
Карточка проекта РНФ: | 17-12-01176 |
Источники: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017 |
Располагается в коллекциях: | Scanning Probe Microscopy |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
978-5-9500624-0-7_2017_068.pdf | 423,28 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.