Количественный анализ тонких пленок NbN методом EELS в режиме STEM

Дементьева, М. М.; Приходько, К. Е.; Гурович, Б. А.; Кутузов, Л. В.; Комаров, Д. А.; Dementyeva, M. M.; Prikhodko, K. E.; Gurovich, B. A.; Kutuzov, L. V.; Komarov, D. A.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elar.urfu.ru/handle/10995/104170

Title:	Количественный анализ тонких пленок NbN методом EELS в режиме STEM
Other Titles:	Quantitative analysis of NbN thin films by EELS technique in STEM mode
Authors:	Дементьева, М. М. Приходько, К. Е. Гурович, Б. А. Кутузов, Л. В. Комаров, Д. А. Dementyeva, M. M. Prikhodko, K. E. Gurovich, B. A. Kutuzov, L. V. Komarov, D. A.
Issue Date:	2017
Publisher:	Ural Federal University
Citation:	Количественный анализ тонких пленок NbN методом EELS в режиме STEM / М. М. Дементьева, К. Е. Приходько, Б. А. Гурович и др. // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 106 p.
Abstract:	Количественная информация об электрофизических свойствах ультратонких (5 нм) сверхпроводящих пленок NbN до и после облучения ионами с энергией (0.1-1 кэВ) исследуется методом спектроскопии энергетических потерь электронов в режиме сходящегося пучка электронов. Quantitative information about electrical properties of superconductive NbN ultrathin (0.5 nm) films before and after irradiation by ions with energies (0.1-1 keV) were investigated by Electron energy loss spectroscopy in STEM mode.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104170
Conference name:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date:	27.08.2017-30.08.2017
ISBN:	978-5-9500624-0-7
Origin:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_063.pdf		317,15 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record