Инновационные решения в области виброзащиты научного и технологического оборудования

Abstract

Необходимость получения предельных разрешений, манипуляции с нано и микрообъектами, а также создание наноструктур, требуют технических решений как для максимального подавления шумов от источников вибраций, так и максимальной защиты (изоляции) исполнительных элементов технологического оборудования и чувствительных элементов измерительного оборудования от воздействия шумового спектра в местах расположения. Компания Остек предлагает комплекс инновационных технических решений для борьбы с источниками вибраций и их воздействием для защиты атомно-силовых микроскопов, электронных просвечивающих и сканирующих микроскопов, оптических и интерференционных микроскопов высокого разрешения, зондовых станций, установок проекционной литографии, сверхточных систем измерения веса и др. приборов и устройств, требующих максимальной виброзащищенности для успешной эксплуатации.

The need to obtain maximum resolution, manipulations with nano and microobjects, as well as the creation of nanostructures, require technical solutions both for maximum suppression of noise from vibration sources and for maximum protection (isolation) of executive elements of process equipment and sensing elements of measuring equipment against noise spectrum in the places of location. Ostec company offers a range of innovative technical solutions for controlling vibration sources and their impact for the protection of atomic force microscopes, electronic transmission and scanning microscopes, high-resolution optical and interference microscopes, probe stations, projection lithography sets, ultra-precise weighing systems and other devices that require maximum vibration protection for successful operation.