Измерительно-аналитический комплекс для исследования локальных вольт-фарадных характеристик полупроводниковых барьерных структур на базе АСМ

Кусакин, Д. С.; Литвинов, В. Г.; Ермачихин, А. В.; Kusakin, D. S.; Litvinov, V. G.; Ermachikhin, A. V.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104048

Title:	Измерительно-аналитический комплекс для исследования локальных вольт-фарадных характеристик полупроводниковых барьерных структур на базе АСМ
Other Titles:	Measuring-analytical complex for investigation of local C-V- characteristics of semiconductor barrier structures on the basis of AFM
Authors:	Кусакин, Д. С. Литвинов, В. Г. Ермачихин, А. В. Kusakin, D. S. Litvinov, V. G. Ermachikhin, A. V.
Issue Date:	2017
Publisher:	Ural Federal University
Citation:	Кусакин Д. С. Измерительно-аналитический комплекс для исследования локальных вольт-фарадных характеристик полупроводниковых барьерных структур на базе АСМ / Д. С. Кусакин, В. Г. Литвинов, А. В. Ермачихин // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 177 p.
Abstract:	Разработан автоматизированный измерительный комплекс для локального исследования вольт-фарадных характеристик полупроводниковых структур на основе зондовой системы атомно-силового микроскопа. Automated measuring complex for local research of capacitor-voltage characteristics of semiconductor structures based on the probe system of an atomic force microscope has been developed.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104048
Conference name:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date:	27.08.2017-30.08.2017
ISBN:	978-5-9500624-0-7
metadata.dc.description.sponsorship:	Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант 16-32-00342) с использованием оборудования Регионального центра зондовой микроскопии коллективного пользования (РЦЗМкп) при ФГБОУ ВО «РГРТУ» (ckp.rsreu.ru) в НОЦ неупорядоченных и наноструктурированных материалов и устройств на их основе (ННМУ).
Origin:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_103.pdf		314,41 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar