ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/104048| Название: | Измерительно-аналитический комплекс для исследования локальных вольт-фарадных характеристик полупроводниковых барьерных структур на базе АСМ |
| Другие названия: | Measuring-analytical complex for investigation of local C-V- characteristics of semiconductor barrier structures on the basis of AFM |
| Авторы: | Кусакин, Д. С. Литвинов, В. Г. Ермачихин, А. В. Kusakin, D. S. Litvinov, V. G. Ermachikhin, A. V. |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | Ural Federal University |
| Библиографическое описание: | Кусакин Д. С. Измерительно-аналитический комплекс для исследования локальных вольт-фарадных характеристик полупроводниковых барьерных структур на базе АСМ / Д. С. Кусакин, В. Г. Литвинов, А. В. Ермачихин // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 177 p. |
| Аннотация: | Разработан автоматизированный измерительный комплекс для локального исследования вольт-фарадных характеристик полупроводниковых структур на основе зондовой системы атомно-силового микроскопа. Automated measuring complex for local research of capacitor-voltage characteristics of semiconductor structures based on the probe system of an atomic force microscope has been developed. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/104048 |
| Конференция/семинар: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research" |
| Дата конференции/семинара: | 27.08.2017-30.08.2017 |
| ISBN: | 978-5-9500624-0-7 |
| Сведения о поддержке: | Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант 16-32-00342) с использованием оборудования Регионального центра зондовой микроскопии коллективного пользования (РЦЗМкп) при ФГБОУ ВО «РГРТУ» (ckp.rsreu.ru) в НОЦ неупорядоченных и наноструктурированных материалов и устройств на их основе (ННМУ). |
| Источники: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017 |
| Располагается в коллекциях: | Scanning Probe Microscopy |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 978-5-9500624-0-7_2017_103.pdf | 314,41 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.