Синтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроники

Лебедев, М. С.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/103729

Title:	Синтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроники
Authors:	Лебедев, М. С.
Issue Date:	2020
Publisher:	ООО "Альтаир"
Citation:	Лебедев М. С. Синтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроники / М. С. Лебедев // Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных : материалы конференции. Информационный бюллетень (Уфа, 27 марта - 03 апреля 2020 г.). — Екатеринбург – Ростов-на-Дону – Уфа: ООО "Альтаир", 2020. — С. 230-231.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/103729
Conference name:	Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26
Conference date:	27.03.2020-03.04.2020
ISBN:	978-5-91951-593-7
Sponsorship:	Работа выполняется при поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 18-53-52009.
Origin:	Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26. — Уфа, 2020
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-91951-593-7_2020_157.pdf		313,83 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record