1. Электронный научный архив УрФУ
  2. 07. Институт естественных наук и математики
  3. Конференции, семинары
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/103729
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЛебедев, М. С.ru
dc.date.accessioned2021-09-20T07:20:46Z-
dc.date.available2021-09-20T07:20:46Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationЛебедев М. С. Синтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроники / М. С. Лебедев // Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных : материалы конференции. Информационный бюллетень (Уфа, 27 марта - 03 апреля 2020 г.). — Екатеринбург – Ростов-на-Дону – Уфа: ООО "Альтаир", 2020. — С. 230-231.ru
dc.identifier.isbn978-5-91951-593-7-
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/103729-
dc.description.sponsorshipРабота выполняется при поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 18-53-52009.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherООО "Альтаир"ru
dc.relation.ispartofДвадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26. — Уфа, 2020ru
dc.titleСинтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроникиru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjecten
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.conference.nameДвадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26ru
dc.conference.date27.03.2020-03.04.2020-
local.description.firstpage230-
local.description.lastpage231-
local.fund.rffi18-53-52009-
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
978-5-91951-593-7_2020_157.pdf313,83 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.