ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/103729| Название: | Синтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроники |
| Авторы: | Лебедев, М. С. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | ООО "Альтаир" |
| Библиографическое описание: | Лебедев М. С. Синтез тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения для приборов микро- и наноэлектроники / М. С. Лебедев // Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных : материалы конференции. Информационный бюллетень (Уфа, 27 марта - 03 апреля 2020 г.). — Екатеринбург – Ростов-на-Дону – Уфа: ООО "Альтаир", 2020. — С. 230-231. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/103729 |
| Конференция/семинар: | Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26 |
| Дата конференции/семинара: | 27.03.2020-03.04.2020 |
| ISBN: | 978-5-91951-593-7 |
| Сведения о поддержке: | Работа выполняется при поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 18-53-52009. |
| Источники: | Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26. — Уфа, 2020 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 978-5-91951-593-7_2020_157.pdf | 313,83 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.