Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование

Каптелов, Е. Ю.; Вольпяс, В. А.; Долгинцев, Д. М.; Пронин, В. П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164

Title:	Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование
Authors:	Каптелов, Е. Ю. Вольпяс, В. А. Долгинцев, Д. М. Пронин, В. П.
Issue Date:	2021
Publisher:	Уральский федеральный университет
Citation:	Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование / Е. Ю. Каптелов, В. А. Вольпяс, Д. М. Долгинцев, В. П. Пронин // XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII) : сборник тезисов (Екатеринбург, 25-28 августа 2021 г.). — Екатеринбург: Уральский федеральный университет, 2021. — С. 244-245.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164
Conference name:	XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII)
Conference date:	25.08.2021-28.08.2021
ISBN:	978-5-9500624-4-5
Origin:	XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII). — Екатеринбург, 2021
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-4-5_175.pdf		523,12 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record