Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование

Каптелов, Е. Ю.; Вольпяс, В. А.; Долгинцев, Д. М.; Пронин, В. П.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Каптелов, Е. Ю.	ru
dc.contributor.author	Вольпяс, В. А.	ru
dc.contributor.author	Долгинцев, Д. М.	ru
dc.contributor.author	Пронин, В. П.	ru
dc.date.accessioned	2021-08-31T13:25:01Z	-
dc.date.available	2021-08-31T13:25:01Z	-
dc.date.issued	2021	-
dc.identifier.citation	Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование / Е. Ю. Каптелов, В. А. Вольпяс, Д. М. Долгинцев, В. П. Пронин // XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII) : сборник тезисов (Екатеринбург, 25-28 августа 2021 г.). — Екатеринбург: Уральский федеральный университет, 2021. — С. 244-245.	ru
dc.identifier.isbn	978-5-9500624-4-5	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164	-
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Уральский федеральный университет	ru
dc.relation.ispartof	XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII). — Екатеринбург, 2021	ru
dc.title	Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование	ru
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII)	ru
dc.conference.date	25.08.2021-28.08.2021	-
local.description.firstpage	244	-
local.description.lastpage	245	-
local.description.order	С105	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-9500624-4-5_175.pdf		523,12 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.