Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164
Название: Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование
Авторы: Каптелов, Е. Ю.
Вольпяс, В. А.
Долгинцев, Д. М.
Пронин, В. П.
Дата публикации: 2021
Издатель: Уральский федеральный университет
Библиографическое описание: Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование / Е. Ю. Каптелов, В. А. Вольпяс, Д. М. Долгинцев, В. П. Пронин // XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII) : сборник тезисов (Екатеринбург, 25-28 августа 2021 г.). — Екатеринбург: Уральский федеральный университет, 2021. — С. 244-245.
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164
Конференция/семинар: XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII)
Дата конференции/семинара: 25.08.2021-28.08.2021
ISBN: 978-5-9500624-4-5
Источники: XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII). — Екатеринбург, 2021
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
978-5-9500624-4-5_175.pdf523,12 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.