Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164
Название: | Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование |
Авторы: | Каптелов, Е. Ю. Вольпяс, В. А. Долгинцев, Д. М. Пронин, В. П. |
Дата публикации: | 2021 |
Издатель: | Уральский федеральный университет |
Библиографическое описание: | Варьирование состава тонких пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ магнетронного распыления, при изменении давления рабочего газа: эксперимент и моделирование / Е. Ю. Каптелов, В. А. Вольпяс, Д. М. Долгинцев, В. П. Пронин // XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII) : сборник тезисов (Екатеринбург, 25-28 августа 2021 г.). — Екатеринбург: Уральский федеральный университет, 2021. — С. 244-245. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/101164 |
Конференция/семинар: | XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII) |
Дата конференции/семинара: | 25.08.2021-28.08.2021 |
ISBN: | 978-5-9500624-4-5 |
Источники: | XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII). — Екатеринбург, 2021 |
Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
978-5-9500624-4-5_175.pdf | 523,12 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.