Синтез тонких пленок нитрида алюминия методом плазмохимического осаждения

Мартемьянов, Н. A.; Камалов, Р. В.; Вохминцев, А. С.; Вайнштейн, И. А.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/99556

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Мартемьянов, Н. A.	ru
dc.contributor.author	Камалов, Р. В.	ru
dc.contributor.author	Вохминцев, А. С.	ru
dc.contributor.author	Вайнштейн, И. А.	ru
dc.date.accessioned	2021-06-22T08:09:03Z	-
dc.date.available	2021-06-22T08:09:03Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Синтез тонких пленок нитрида алюминия методом плазмохимического осаждения / Н. A. Мартемьянов, Р. В. Камалов, А. С. Вохминцев, И. А. Вайнштейн // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов III Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 16–20 мая 2016 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2016. — C. 104-105.	en
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/99556	-
dc.description.abstract	Aluminum nitride thin films were grown on a fused quartz, silicon and titanium substrates using the metal organic plasma enhanced chemical vapor deposition (MO-PE CVD). The parameters of the synthesis routine were controlled by the NANOFAB-100 (NT-MDT) plasma-chemical etching and deposition unit. Surface topography and film thickness were characterized by the means of the atomic force microscopy. UV-VIS spectroscopy was applied to measure the optical transmission spectra. Results of the measurements were in a good agreement with the independent data.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	УрФУ	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2016). — Екатеринбург, 2016	ru
dc.title	Синтез тонких пленок нитрида алюминия методом плазмохимического осаждения	ru
dc.title.alternative	PLASMA CHEMICAL SYNTHESIS OF THIN FILMS OF ALUMINUM NITRIDE	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	III Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»	ru
dc.conference.date	16.05.2016-20.05.2016	-
local.description.firstpage	104	-
local.description.lastpage	105	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
fti_2016_053.pdf		408,74 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.