ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/98499| Название: | Novel method of silicon synthesis by CVD |
| Авторы: | Shishkin, R. A. Kudyakova, V. S. Yuferov, Y. V. Zykov, F. M. |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ» |
| Библиографическое описание: | Novel method of silicon synthesis by CVD / R. A. Shishkin, V. S. Kudyakova, Y. V. Yuferov, F. M. Zykov // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 576-577. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/98499 |
| Конференция/семинар: | VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ |
| Дата конференции/семинара: | 20.05.2019-24.05.2019 |
| ISBN: | 978-5-8295-0640-7 |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 978-5-8295-0640-7_2019_337.pdf | 415,21 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.