Novel method of silicon synthesis by CVD

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98499

Title:	Novel method of silicon synthesis by CVD
Authors:	Shishkin, R. A. Kudyakova, V. S. Yuferov, Y. V. Zykov, F. M.
Issue Date:	2019
Publisher:	ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»
Citation:	Novel method of silicon synthesis by CVD / R. A. Shishkin, V. S. Kudyakova, Y. V. Yuferov, F. M. Zykov // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 576-577.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/98499
Conference name:	VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ
Conference date:	20.05.2019-24.05.2019
ISBN:	978-5-8295-0640-7
Origin:	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-8295-0640-7_2019_337.pdf		415,21 kB	Adobe PDF	View/Open