1. Электронный научный архив УрФУ
  2. 20. Физико-технологический институт
  3. Конференции, семинары
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98499
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorShishkin, R. A.en
dc.contributor.authorKudyakova, V. S.en
dc.contributor.authorYuferov, Y. V.en
dc.contributor.authorZykov, F. M.en
dc.date.accessioned2021-06-10T10:29:29Z-
dc.date.available2021-06-10T10:29:29Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationNovel method of silicon synthesis by CVD / R. A. Shishkin, V. S. Kudyakova, Y. V. Yuferov, F. M. Zykov // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 576-577.ru
dc.identifier.isbn978-5-8295-0640-7-
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/98499-
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoenen
dc.publisherООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»ru
dc.relation.ispartofФизика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019ru
dc.titleNovel method of silicon synthesis by CVDen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjecten
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.conference.nameVI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУru
dc.conference.date20.05.2019-24.05.2019-
local.description.firstpage576-
local.description.lastpage577-
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
978-5-8295-0640-7_2019_337.pdf415,21 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.