Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98338
Title: Разработка системы управления аппартно-программного комплекса по определению толщин тонких пленок интерференционным методом
Other Titles: DEVELOPMENT OF A CONTROL SYSTEM OF HARDWARE AND SOFTWARE COMPLEX TO DETERMINE THIN FILMS THICKNESS BY INTERFERENTIAL METHOD
Authors: Островский, В. В.
Тягунин, А. В.
Орлов, А. В.
Issue Date: 2019
Publisher: ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»
Citation: Островский В. В. Разработка системы управления аппартно-программного комплекса по определению толщин тонких пленок интерференционным методом / В. В. Островский, А. В. Тягунин, А. В. Орлов // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 344-345.
Abstract: The article is devoted to the development of a control system for an experimental setup for determining the thickness of thin films by the interference method. Presents the main fea-tures of the developed system.
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98338
Conference name: VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ
Conference date: 20.05.2019-24.05.2019
ISBN: 978-5-8295-0640-7
Origin: Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
Appears in Collections:Конференции, семинары

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-8295-0640-7_2019_192.pdf342,74 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.