Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/98338
Title: | Разработка системы управления аппартно-программного комплекса по определению толщин тонких пленок интерференционным методом |
Other Titles: | DEVELOPMENT OF A CONTROL SYSTEM OF HARDWARE AND SOFTWARE COMPLEX TO DETERMINE THIN FILMS THICKNESS BY INTERFERENTIAL METHOD |
Authors: | Островский, В. В. Тягунин, А. В. Орлов, А. В. |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ» |
Citation: | Островский В. В. Разработка системы управления аппартно-программного комплекса по определению толщин тонких пленок интерференционным методом / В. В. Островский, А. В. Тягунин, А. В. Орлов // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 344-345. |
Abstract: | The article is devoted to the development of a control system for an experimental setup for determining the thickness of thin films by the interference method. Presents the main fea-tures of the developed system. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/98338 |
Conference name: | VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ |
Conference date: | 20.05.2019-24.05.2019 |
ISBN: | 978-5-8295-0640-7 |
Origin: | Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019 |
Appears in Collections: | Конференции, семинары |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
978-5-8295-0640-7_2019_192.pdf | 342,74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.