Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/92469
Название: | Synthesis of α-Al2O3 coatings by reactive anodic arc evaporation under high-density low-energy ion assistance |
Авторы: | Gavrilov, N. V. Kamenetskikh, A. S. Tretnikov, P. V. Chukin, A. V. |
Дата публикации: | 2019 |
Издатель: | Institute of Physics Publishing |
Библиографическое описание: | Gavrilov N. V. Synthesis of α-Al2O3 coatings by reactive anodic arc evaporation under high-density low-energy ion assistance / N. V. Gavrilov, A. S. Kamenetskikh, P. V. Tretnikov, A. V. Chukin. — DOI 10.1088/1742-6596/1281/1/012020 // Journal of Physics: Conference Series. — 2019. — Vol. 1. — Iss. 1281. — 12020. |
Аннотация: | Reactive anode evaporation of Al on metallic substrates with an isostructural sublayer at a temperature of 640 °C has allowed obtaining α-Al2O3 coating at a rate of 4.5 μm/h. It has been shown that the use of low-energy (50 eV) intense (up to 15 mA/cm2) ion assistance with a low content of metal ions ensures the formation of the Al2O3 α-phase with a low level of micro-distortions (less than 0.15%), an increased nanocrystallite size (more than 40 nm) and low internal stress (up to 2 GPa). © Published under licence by IOP Publishing Ltd. |
Ключевые слова: | ALUMINA ALUMINUM OXIDE EVAPORATION METAL IONS METALS SUBSTRATES AL2O3 COATING ALPHA PHASE ARC EVAPORATION ION ASSISTANCE ISOSTRUCTURAL METALLIC SUBSTRATE NANOCRYSTALLITE SIZE ALUMINUM COATINGS |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/92469 |
Условия доступа: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Идентификатор SCOPUS: | 85072201996 |
Идентификатор WOS: | 000562039600020 |
Идентификатор PURE: | 10776566 |
ISSN: | 1742-6588 |
DOI: | 10.1088/1742-6596/1281/1/012020 |
Сведения о поддержке: | Russian Science Foundation, RSF: 18-19-00567 This work was supported by the Russian Science Foundation under grant No. 18-19-00567. |
Карточка проекта РНФ: | 18-19-00567 |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
10.1088-1742-6596-1281-1-012020.pdf | 993,52 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.