Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/92469
Название: Synthesis of α-Al2O3 coatings by reactive anodic arc evaporation under high-density low-energy ion assistance
Авторы: Gavrilov, N. V.
Kamenetskikh, A. S.
Tretnikov, P. V.
Chukin, A. V.
Дата публикации: 2019
Издатель: Institute of Physics Publishing
Библиографическое описание: Gavrilov N. V. Synthesis of α-Al2O3 coatings by reactive anodic arc evaporation under high-density low-energy ion assistance / N. V. Gavrilov, A. S. Kamenetskikh, P. V. Tretnikov, A. V. Chukin. — DOI 10.1088/1742-6596/1281/1/012020 // Journal of Physics: Conference Series. — 2019. — Vol. 1. — Iss. 1281. — 12020.
Аннотация: Reactive anode evaporation of Al on metallic substrates with an isostructural sublayer at a temperature of 640 °C has allowed obtaining α-Al2O3 coating at a rate of 4.5 μm/h. It has been shown that the use of low-energy (50 eV) intense (up to 15 mA/cm2) ion assistance with a low content of metal ions ensures the formation of the Al2O3 α-phase with a low level of micro-distortions (less than 0.15%), an increased nanocrystallite size (more than 40 nm) and low internal stress (up to 2 GPa). © Published under licence by IOP Publishing Ltd.
Ключевые слова: ALUMINA
ALUMINUM OXIDE
EVAPORATION
METAL IONS
METALS
SUBSTRATES
AL2O3 COATING
ALPHA PHASE
ARC EVAPORATION
ION ASSISTANCE
ISOSTRUCTURAL
METALLIC SUBSTRATE
NANOCRYSTALLITE SIZE
ALUMINUM COATINGS
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/92469
Условия доступа: info:eu-repo/semantics/openAccess
Идентификатор SCOPUS: 85072201996
Идентификатор WOS: 000562039600020
Идентификатор PURE: 10776566
ISSN: 1742-6588
DOI: 10.1088/1742-6596/1281/1/012020
Сведения о поддержке: Russian Science Foundation, RSF: 18-19-00567
This work was supported by the Russian Science Foundation under grant No. 18-19-00567.
Карточка проекта РНФ: 18-19-00567
Располагается в коллекциях:Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
10.1088-1742-6596-1281-1-012020.pdf993,52 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.