Оптические свойства тонких плёнок диоксида гафния в области края собственного поглощения

Abstract

Optical absorption spectra for HfO2 thin films were measured. Thin film interference was used to determine film thickness, which is d=288.4 nm, and to calculate dispersion curves for refractive index, absorption coefficient and both real and imaginary parts of dielectric permittivity. Absorption edge was analyzed to estimate value of the energy gap Eg = 5.40 ± 0.05 eV.

В работе были измерены спектры оптического поглощения тонких плёнок диоксида гафния. С использованием наблюдаемых интерференционных пиков была выполнена оценка толщины плёнки d = 288 ± 4 нм, а также рассчитаны дисперсионные кривые для показателей преломления и экстинкции среды, действительной и мнимой части диэлектрической проницаемости. На основе построения Тауца для спектра оптического поглощения в области собственного края была определена ширина запрещённой зоны Eg = 5.40 ± 0.05 эВ в предположении непрямых разрешенных переходов.