Способ получения пленок на основе сложных оксидов

Abstract

FIELD: catalytic, superconducting, laser, SHF technologies, integral and magnetooptics. SUBSTANCE: working solution containing, per cent mass: polyvinyl alcohol 5.0-20.0; salts of metal components of film 0.1-5.0 and water is additionally injected with 1.0-20.0 per cent by mass of polymer component from group of water-solubles, for instance, methylcellulose or polyvinylpirrolidon. Working solution is applied by layers with intermediate drying of layers at room temperature and with heating of at least two layers at 400-550 C till organic component is removed. Then final firing is conducted at 600-960 C. Injection of additional polymer component having code of temperature dependence of relative linear dimensions opposite to that of polyvinyl alcohol results in insufficient deformation of film in process of heating, in diminished mechanical stresses in film which prevents its destruction. EFFECT: improved operational characteristics of film, facilitated manufacture.

Использование: в каталитической, сверхпроводящей, лазерной, СВЧ-технике, магнитооптике, интегральной оптике. Сущность изобретения: готовят рабочий раствор, содержащий 5 20 мас. поливинилового спирта, 0,1 5 мас. солей металлических компонентов пленки и воду и дополнительно вводят 1 20 мас. полимерного компонента из группы водорастворимых, например метилцеллюлозу или поливинилпирролидон. Рабочий раствор наносят послойно с промежуточной сушкой слоев при комнатной температуре и нагревом не менее двух слоев при 400 550°С до удаления органической компоненты. Затем проводят окончательный отжиг при 600 960°С. Введение дополнительного полимерного компонента, имеющего код температурной зависимости относительных линейных размеров, противоположный поливиниловому спирту, приводит к тому, что в процессе нагрева пленка деформируется незначительно, в ней уменьшаются механические напряжения, чем предотвращается ее разрушение.