Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/78960
Title: | Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие |
Authors: | Марков, В. Ф. Маскаева, Л. Н. |
Editors: | Марков, В. Ф. |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | Издательство Уральского университета |
Citation: | Марков, В. Ф. Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета для студентов вуза, обучающихся по направлениям подготовки 18.03.01, 18.04.01 — Химическая технология / В. Ф. Марков, Л. Н. Маскаева ; под общей редакцией В. Ф. Маркова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета. — 148 с. — 978-5-7996-2769-0. — Текст : непосредственный. |
Abstract: | В учебном пособии даны характеристики и рассмотрены технологические приемы получения тонкопленочных твердотельных сенсоров, их конструкционные особенности, основные параметры, назначение и области их применения. Особое внимание уделено оптическим датчиками и химическим сенсорам, их характеристикам и основным преимуществам. Представлены общие положения и законы распространения ИК-излучения. Рассмотрено использование наноструктурных материалов для создания фотодетекторов и сенсоров различного назначения. Пособие предназначено студентам высших учебных заведений, обучающимся по направлениям подготовки 18.03.01 и 18.04.01 «Химическая технология». Оно может быть также полезно аспирантам и преподавателям вузов материаловедческих специальностей. |
Keywords: | УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СЕНСОРЫ |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/78960 |
RSCI ID: | 41490504 |
PURE ID: | 11411680 |
ISSN: | 978-5-7996-2769-0 |
Appears in Collections: | Учебные материалы |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
978-5-7996-2769-0_2019.pdf | 14,15 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.