Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/78960
Title: Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие
Authors: Марков, В. Ф.
Маскаева, Л. Н.
Editors: Марков, В. Ф.
Issue Date: 2019
Publisher: Издательство Уральского университета
Citation: Марков, В. Ф. Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета для студентов вуза, обучающихся по направлениям подготовки 18.03.01, 18.04.01 — Химическая технология / В. Ф. Марков, Л. Н. Маскаева ; под общей редакцией В. Ф. Маркова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета. — 148 с. — 978-5-7996-2769-0. — Текст : непосредственный.
Abstract: В учебном пособии даны характеристики и рассмотрены технологические приемы получения тонкопленочных твердотельных сенсоров, их конструкционные особенности, основные параметры, назначение и области их применения. Особое внимание уделено оптическим датчиками и химическим сенсорам, их характеристикам и основным преимуществам. Представлены общие положения и законы распространения ИК-излучения. Рассмотрено использование наноструктурных материалов для создания фотодетекторов и сенсоров различного назначения. Пособие предназначено студентам высших учебных заведений, обучающимся по направлениям подготовки 18.03.01 и 18.04.01 «Химическая технология». Оно может быть также полезно аспирантам и преподавателям вузов материаловедческих специальностей.
Keywords: УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СЕНСОРЫ
URI: http://hdl.handle.net/10995/78960
RSCI ID: 41490504
PURE ID: 11411680
ISSN: 978-5-7996-2769-0
Appears in Collections:Учебные материалы

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-7996-2769-0_2019.pdf14,15 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.