Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/78812
Title: | Оценка факторов, влияющих на измерение удельного электрического сопротивления материала стандартных образцов кремния монокристаллического |
Authors: | Мехонцева, Г. И. Гонтарь, Л. А. Терентьев, Г. И. |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | Уральский федеральный университет |
Citation: | Мехонцева Г. И. Оценка факторов, влияющих на измерение удельного электрического сопротивления материала стандартных образцов кремния монокристаллического / Г. И. Мехонцева, Л. А. Гонтарь, Г. И. Терентьев // Физика. Технологии. Инновации : cборник материалов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : [УрФУ], 2019. — C. 176-186. |
Abstract: | When measuring the electrical resistivity of the four-probe method, it is necessary to take into account the factors that make an error in the final result. In this paper, the main influencing factors for the measurement of silicon wafers are estimated, correction factors are selected and ap-propriate conclusions are drawn. При измерении удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом необходимо брать во внимание факторы, которые вносят дополнительные отклонения от истинного значения. В данной работе оценены основные влияющие факторы для измерения пластин кремния монокристаллического диаметром 100 мм, а также выбраны поправочные коэффициенты и сделаны соответствующие выводы. |
Keywords: | RESISTIVITY FOUR-PROBE METHOD MONOCRYSTALLINE SILICON УДЕЛЬНОЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫЙ МЕТОД КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/78812 |
Conference name: | VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ |
Conference date: | 20.05.2019-24.05.2019 |
Origin: | Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019 |
Appears in Collections: | Конференции, семинары |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
fti_2019_018.pdf | 560,82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.