Моделирование свободномолекулярного течения газа в шероховатом канале для ядер рассеяния Максвелла и Эпштейна

Abstract

Программа предназначена для расчёта параметров свободномолекулярного течения газа через шероховатый канал в случае ядер рассеяния Максвелла и Эпштейна в зависимости от отношения длины к высоте канала, относительной высоты и углов наклона шероховатости. В программе реализован метод пробной частицы Монте Карло. Программа может применяться в области вакуумной техники и технологии, при разработке и оптимизации микро- и наноэлектромеханических систем, в космических приложениях. Программа обеспечивает расчёт следующих величин: вероятность прохождения канала; средний путь в канале и среднее время прохождения канала для частиц, которые прошли канал от входа до выхода, хотя бы один раз столкнувшись с поверхностью; среднее количество столкновений частицы с шероховатой поверхностью при попадании частицы на поверхность.