Способ определения толщины плоского слоя

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/68998

Title:	Способ определения толщины плоского слоя
Patent Number:	2620986
Authors:	Федосов, Е. А. Гольдштейн, С. Л. Диомидов, И. А.
Issue Date:	2017-05-30
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/68998
RSCI ID:	38265122
PURE ID:	10283179
Patent Owner:	федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2620986.pdf		293,46 kB	Adobe PDF	View/Open