Материал для конверсии вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния sio2sx на кремниевой подложке

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/68945

Title:	Материал для конверсии вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния sio2sx на кремниевой подложке
Patent Number:	2584205
Authors:	Зацепин, А. Ф. Кортов, В. С. Бунтов, Е. А. Пустоваров, В. А. Фиттинг, Ганс-Йохим
Issue Date:	2016-05-20
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/68945
RSCI ID:	37835155
PURE ID:	11939880
Patent Owner:	Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2584205.pdf		309,02 kB	Adobe PDF	View/Open