Способ получения конвертера вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiOх на кремниевой подложке

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/68914

Title:	Способ получения конвертера вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiOх на кремниевой подложке
Patent Number:	2534173
Authors:	Кортов, В. С. Зацепин, А. Ф. Бунтов, Е. А.
Issue Date:	2014-11-27
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/68914
RSCI ID:	37807272
PURE ID:	12208078
Patent Owner:	Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2534173.pdf		320,65 kB	Adobe PDF	View/Open
2534173_full.pdf		475,23 kB	Adobe PDF	View/Open