Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/68914
Title: Способ получения конвертера вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiOх на кремниевой подложке
Patent Number: 2534173
Authors: Кортов, В. С.
Зацепин, А. Ф.
Бунтов, Е. А.
Issue Date: 2014-11-27
URI: http://hdl.handle.net/10995/68914
RSCI ID: 37807272
PURE ID: 12208078
Patent Owner: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:Патенты и изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2534173.pdf320,65 kBAdobe PDFView/Open
2534173_full.pdf475,23 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.