Конвертер вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiOx на кремниевой подложке

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/68912

Title:	Конвертер вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiOx на кремниевой подложке
Patent Number:	2526344
Authors:	Зацепин, А. Ф. Кортов, В. С. Бунтов, Е. А. Пустоваров, В. А.
Issue Date:	2014-08-20
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/68912
RSCI ID:	37451907
PURE ID:	12208134
Patent Owner:	Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2526344.pdf		279,34 kB	Adobe PDF	View/Open
2526344_full.pdf		464,4 kB	Adobe PDF	View/Open