Способ контроля параметров оптического волноводного слоя

Abstract

FIELD: microelectronics; integral optics. SUBSTANCE: waveguides mode are excited in optical waveguide layer due to illumination of layer by coherent radiation beam. Energy of quanta of the beam is lower than stationary photoeffect threshold. Parameters of waveguide layer are checked according to value of current of non-stationary exoelectron emission excited inside layer under control by natural radiation of waveguide. EFFECT: improved reliability. 1 dwg.

Использование: исследование электрофизических свойств поверхности эмиссионными методами, контроль качества элементов интегральной оптики и микроэлектроники. Сущность изобретения: в способе контроля параметров оптического волноводного слоя возбуждают в нем волноводные моды путем освещения слоя пучком когерентного излучения с энергией квантов ниже порога стационарного фотоэффекта. Контроль параметров волноводного слоя осуществляют по величине тока нестационарной экзоэлектронной эмиссии, возбуждаемой внутри контролируемого слоя собственным излучением волновода.