Способ получения легированного кварцевого стекла с тетраэдрической координацией атомов титана

Кортов, В. С.; Зацепин, Д. А.; Зацепин, А. Ф.; Гаврилов, Н. В.; Курмаев, Э. З.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/58511

Title:	Способ получения легированного кварцевого стекла с тетраэдрической координацией атомов титана
Patent Number:	2461665
Authors:	Кортов, В. С. Зацепин, Д. А. Зацепин, А. Ф. Гаврилов, Н. В. Курмаев, Э. З.
Issue Date:	2012-09-20
Abstract:	Изобретение относится к получению легированного кварцевого стекла с тетраэдрической координацией атомов титана и может быть использовано при создании оптоэлектронных и светоизлучающих устройств. Способ получения легированного кварцевого стекла с тетраэдрической координацией атомов титана включает имплантацию ионов титана в кварцевое стекло в импульсном режиме с дозой облучения (1÷9)×1016 см-2 при энергии ионов титана 25÷35 кэВ, импульсной плотности ионного тока 0,2÷10 мА/см2 и температуре кварцевого стекла 250÷300°С в изотермическом режиме. Упрощается процесс легирования титаном кварцевого стекла для создания на его основе компонентов функциональных микро- и наноустройств.
Keywords:	PATENT ПАТЕНТ
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/58511
RSCI ID:	37498045
PURE ID:	6497878
Patent Type:	Изобретение
Patent Owner:	Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2461665.pdf		276,83 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record