Комплексное использование растровой электронной и зондовой микроскопии

Григоров, И. Г.; Борисов, С. В.; Хлебников, Н. А.; Зайнулин, Ю. Г.; Поляков, Е. В.; Швейкин, Г. П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/58198

Title:	Комплексное использование растровой электронной и зондовой микроскопии
Authors:	Григоров, И. Г. Борисов, С. В. Хлебников, Н. А. Зайнулин, Ю. Г. Поляков, Е. В. Швейкин, Г. П.
Issue Date:	2007
Publisher:	Уральский государственный технический унивеситет
Citation:	Комплексное использование растровой электронной и зондовой микроскопии / И. Г. Григоров, С. В. Борисов, Н. А. Хлебников [и др.] // Аналитика и контроль. — 2007. — № 4. — С. 260-265.
Abstract:	Описана методика формирования трехмерного изображения в цифровой форме реального физического объекта, путем получения микрорельефа его поверхности методом растровой электронной микроскопии и коррекцией данных трехмерного преобразования методами сканирующей зондовой микроскопии. New possibilities of real object three-dimensional digital image formation are described in details in the paper. In accordance with the approach, the image of micro-relief of the object surface is being formed as a result of processing of the signals from scanning electron microscopy of the object accompanied by three-dimensional transformation correction by means of scanning probe microscopy.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/58198
Origin:	Аналитика и контроль. 2007. № 4
Appears in Collections:	Аналитика и контроль

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
aik-2007-04-06.pdf		16,29 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record