ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/57119| Название: | Определение частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники (обзор) |
| Авторы: | Крылов, В. А. Лазукина, О. П. |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издатель: | Уральский государственный технический университет |
| Библиографическое описание: | Крылов В. А. Определение частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники (обзор) / В. А. Крылов, О. П. Лазукина // Аналитика и контроль. — 2003. — № 3. — С. 203-214. |
| Аннотация: | В обзоре приведены требования к допустимому уровню концентрации частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники, рассмотрены современные возможности контроля содержания частиц в этих средах, а также источники систематических погрешностей определения спектра размеров частиц при пробоотборе и анализе. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/57119 |
| Источники: | Аналитика и контроль. 2003. № 3 |
| Располагается в коллекциях: | Аналитика и контроль |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| aik-2003-03-02.pdf | 3,17 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.