Определение частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники (обзор)

Крылов, В. А.; Лазукина, О. П.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/57119

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Крылов, В. А.	ru
dc.contributor.author	Лазукина, О. П.	ru
dc.date.accessioned	2018-03-04T17:48:51Z	-
dc.date.available	2018-03-04T17:48:51Z	-
dc.date.issued	2003	-
dc.identifier.citation	Крылов В. А. Определение частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники (обзор) / В. А. Крылов, О. П. Лазукина // Аналитика и контроль. — 2003. — № 3. — С. 203-214.	ru
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/57119	-
dc.description.abstract	В обзоре приведены требования к допустимому уровню концентрации частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники, рассмотрены современные возможности контроля содержания частиц в этих средах, а также источники систематических погрешностей определения спектра размеров частиц при пробоотборе и анализе.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Уральский государственный технический университет	ru
dc.relation.ispartof	Аналитика и контроль. 2003. № 3	ru
dc.title	Определение частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники (обзор)	ru
dc.type	Article	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/article	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
local.description.firstpage	203	-
local.description.lastpage	214	-
Располагается в коллекциях:	Аналитика и контроль

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
aik-2003-03-02.pdf		3,17 MB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.