Особенности изменения структуры покрытий из тантала на поверхности никелида титана после электронно-пучковой обработки

Abstract

В работе исследованы состояния фаз, сформировавшихся в покрытиях из тантала на поверхности никелида титана до и после обработки импульсными электронными пучками. Выявлено, что после осаждения тантала наблюдаются рефлексы α-Таи β-Ta фаз с преобладанием первой. Между покрытием и основой формируется слой, состоящий из фазы с ОЦК структурой на основе Ta-O. Обработка электронным пучком приводит к формированию слоя толщиной ~500 нм, состоящего, преимущественно, из тантала, без четко выраженных границ раздела между покрытием и материалом основы.