E-learning resources for the studies of microelectronics technological processes

Abstract

The possibilities of an advanced student studies of the technological processes of the integrated circuits fabrication by means of educational Internet sites are reviewed. Example of the Internet site that host specialized simulation programs and basic technological and physical parameters calculators is presented.

Рассматриваются возможности использования образовательных Интернет-ресурсов для углубленного изучения студентами технологических процессов создания интегральных схем. Приводится пример сайта, на котором размещены специальные моделирующие программы и калькуляторы по расчетам основных технологических и физических параметров.