Принципы построения автодинных интерферометров и возможности их применения в системах и устройствах оптического приборостроения

Abstract

Представлен обзор принципов построения автодинных интерферометров и возможностей их применения в системах и устройствах оптического приборостроения. При этом проанализировано современное состояние теории автодинных интерферометров, приведены основные уравнения, описывающие формирование сигналов, и рассмотрены особенности автодинных характеристик при различных уровнях отраженного излучения, характеризуемого параметром обратной связи. Представлены примеры реализации автодинных интерферометров и результаты их использования в метрологии. Отмечены перспективы применения автодинных интерферометров в системах и устройствах оптического приборостроения.

An overview of the principles of construction of autodyne interferometers and the possibilities of their application in optical instrumentation systems and devices is presented. At the same time, the current state of the theory of autodyne interferometers is analysed, the basic equations describing the formation of signals are given and the features of the autodyne characteristics at different levels of reflected radiation characterised by the feedback parameter are considered. Examples of the implementation of autodyne interferometers and the results of their use in metrology are presented. The prospects of using autodyne interferometers in optical instrumentation systems and devices are noted.