ЛЮМИНЕСЦЕНТНО-ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПЛЕНОК GaN НА ПОДЛОЖКЕ Al2O3

Чащина, В. В.; Бунтов, Е. А.; Зацепин, А. Ф.; Баталов, Р. И.; Chashchina, V. V.; Buntov, E. A.; Zatsepin, A. F.; Batalov, R. I.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/138506

Title:	ЛЮМИНЕСЦЕНТНО-ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПЛЕНОК GaN НА ПОДЛОЖКЕ Al2O3
Other Titles:	LUMINESCENCE-OPTICAL CHARACTERISTICS OF IMPLANTED GaN FILMS ON AN Al2O3 SUBSTRATE
Authors:	Чащина, В. В. Бунтов, Е. А. Зацепин, А. Ф. Баталов, Р. И. Chashchina, V. V. Buntov, E. A. Zatsepin, A. F. Batalov, R. I.
Issue Date:	2024
Publisher:	УрФУ
Citation:	ЛЮМИНЕСЦЕНТНО-ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПЛЕНОК GaN НА ПОДЛОЖКЕ Al2O3 / В. В. Чащина, Е. А. Бунтов, А. Ф. Зацепин, Р. И. Баталов. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов XI Международной молодежной научной конференции, посвященной посвященной 75-летию основания Физико-технологического института (Екатеринбург, 20–25 мая 2024 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2024. — C. 83-84.
Abstract:	In this work, the luminescent optical properties of GaN films on sapphire (Al2O3) substrates subjected to ion beam annealing (ILA) and aluminum ion implantation were studied.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/138506
Conference name:	XI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 75-летию основания Физико-технологического института
Conference date:	20.05.2024-25.05.2024
ISBN:	978-5-6049106-9-6
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2024). — Екатеринбург, 2024
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-6049106-9-6_2024_023.pdf		209,37 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record