Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 2. Модификация материалов : учебное пособие

Abstract

В пособии рассмотрены плазменно-пучковые технологии, применяемые для модификации и синтеза материалов, основные принципы построения и типы источников ионов и электронов, генераторов плазмы, а также технологических процессов, реализуемых с использованием этих устройств. Учебное пособие может быть использовано аспирантами и студентами, обучающимися на физических специальностях, в том числе на курсах «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей». Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», аспирантов и научных работников.