Программа для вычисления радиуса контактной площадки проводящего зонда СЗМ по измерениям емкости системы зонд-электрод

Abstract

Программа предназначена для вычисления методом конечных элементов радиуса контактной площадки проводящего зонда сканирующего зондового микроскопа из измеренной зависимости ёмкости системы зонд-заземленный электрод от расстояния от поверхности электрода до зонда. Задаваемые параметры: потенциал зонда, высота и угол наклона зонда, измеренная зависимость емкости системы. Программа может быть использована для определения величины радиуса контактной площадки зонда, определяющего пространственное разрешение метода, и ее изменения в результате сканирования при реализации различных мод сканирующей зондовой микроскопии. Работа выполнена с использованием оборудования УЦКП «Современные нанотехнологии» УрФУ (рег.№ 2968), поддержанного министерством науки и высшего образования РФ (Проект 075-15-2021-677).