Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/124692
Название: | ТЕРМОИНДУЦИРОВАННАЯ ИОННАЯ ДИФФУЗИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ MgAl2O4 |
Другие названия: | THERMOINDUSED ION DIFFUSION IN MgAl2O4 THIN FILMS |
Авторы: | Gaev, S. S. Kiryakov, A. N. Zatsepin, A. F. Гаев, С. С. Киряков, А. Н. Зацепин, А. Ф. |
Дата публикации: | 2021 |
Издатель: | УрФУ |
Библиографическое описание: | Гаев С. С. ТЕРМОИНДУЦИРОВАННАЯ ИОННАЯ ДИФФУЗИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ MgAl2O4 / С. С. Гаев, А. Н. Киряков, А. Ф. Зацепин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VIII Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 17–21 мая 2021 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2021. — C. 207-209. |
Аннотация: | Thin-film MgAl2O4 coatings with different thicknesses were deposited by magnetron sputtering on a SiO2 substrate. The obtained samples were certified by XRD, optical spectros-copy and Raman spectroscopy. As a result of the stepwise annealing of thin-film coatings, their thickness decrease. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/124692 |
Конференция/семинар: | VIII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации» |
Дата конференции/семинара: | 17.05.2021-21.05.2021 |
ISBN: | 978-5-8295-0769-5 |
Сведения о поддержке: | Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № 20-42-660012. |
Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2021) |
Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
978-5-8295-0769-5_2021_087.pdf | 417,33 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.