Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/124692
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorGaev, S. S.en
dc.contributor.authorKiryakov, A. N.en
dc.contributor.authorZatsepin, A. F.en
dc.contributor.authorГаев, С. С.ru
dc.contributor.authorКиряков, А. Н.ru
dc.contributor.authorЗацепин, А. Ф.ru
dc.date.accessioned2023-08-28T09:17:59Z-
dc.date.available2023-08-28T09:17:59Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationГаев С. С. ТЕРМОИНДУЦИРОВАННАЯ ИОННАЯ ДИФФУЗИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ MgAl2O4 / С. С. Гаев, А. Н. Киряков, А. Ф. Зацепин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VIII Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 17–21 мая 2021 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2021. — C. 207-209.ru
dc.identifier.isbn978-5-8295-0769-5-
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/124692-
dc.description.abstractThin-film MgAl2O4 coatings with different thicknesses were deposited by magnetron sputtering on a SiO2 substrate. The obtained samples were certified by XRD, optical spectros-copy and Raman spectroscopy. As a result of the stepwise annealing of thin-film coatings, their thickness decrease.en
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при поддержке гранта РФФИ № 20-42-660012.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoru-
dc.publisherУрФУru
dc.relation.ispartofФизика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2021)ru
dc.titleТЕРМОИНДУЦИРОВАННАЯ ИОННАЯ ДИФФУЗИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ MgAl2O4ru
dc.title.alternativeTHERMOINDUSED ION DIFFUSION IN MgAl2O4 THIN FILMSen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjecten
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/submittedVersionen
dc.conference.nameVIII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»ru
dc.conference.date17.05.2021-21.05.2021-
local.description.firstpage207-
local.description.lastpage209-
local.fund.rffi20-42-660012
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
978-5-8295-0769-5_2021_087.pdf417,33 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.