МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ МОЛЕКУЛЯРНОЙ ДИНАМИКИ

Arslanov, K. P.; Buntov, E. A.; Zatsepin, A. F.; Vagapov, A. Sh.; Арсланов, К. П.; Бунтов, Е. А.; Зацепин, А. Ф.; Вагапов, А. Ш.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/124370

Title:	МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ МОЛЕКУЛЯРНОЙ ДИНАМИКИ
Other Titles:	MODELING OF PLASMA DEPOSITION OF CARBON COATINGS BY MOLECULAR DYNAMICS
Authors:	Arslanov, K. P. Buntov, E. A. Zatsepin, A. F. Vagapov, A. Sh. Арсланов, К. П. Бунтов, Е. А. Зацепин, А. Ф. Вагапов, А. Ш.
Issue Date:	2021
Publisher:	УрФУ
Citation:	МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ МОЛЕКУЛЯРНОЙ ДИНАМИКИ / К. П. Арсланов, Е. А. Бунтов, А. Ф. Зацепин, А. Ш. Вагапов // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VIII Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 17–21 мая 2021 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2021. — C. 159-160.
Abstract:	The process of deposition from a low-temperature carbon plasma on a silicon substrate with stimulation by an ion beam was simulated in the LAMMPS program. The conditions for the formation of carbon structures with sp-hybridization were studied.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/124370
Conference name:	VIII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	17.05.2021-21.05.2021
ISBN:	978-5-8295-0769-5
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2021)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-8295-0769-5_2021_058.pdf		209,84 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record