Исследование структуры силицидных покрытий на молибдене, полученных термодиффузионной обработкой в виброкипящем слое

Abstract

Образцы молибдена были подвергнуты низкотемпературному силицированию в виброкипящем слое в среде чистого кремния с использованием активатора NH4Cl при температурах 850, 900, 950 °C и выдержкой 120 мин. Проведены комплексные структурные исследования полученных покрытий методами РЭМ и РСФА. Рассчитаны константы скорости роста силицидного слоя MoSi2.

Molybdenum samples were subjected to low-temperature siliconization in a vibrating-boiling pure silicon layer with NH4Cl activator at a temperature 850, 900, 950 °C with a holding time of 120 minutes. Complex structural studies of the obtained coatings were carried out and the growth rate constants of the MoSi2 layer were calculated.