ISSN: 2310-757X
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/110151| Title: | Структура градиентных пленок Ni-ZrO2 полученных с помощью магнетронного вч напыления в реактивной среде (Ar+O2) |
| Other Titles: | STRUCTURE OF GRADIENT FILMS Ni-ZrO2 SYNTHESIZED BY MAGNETIC HF SPRAYING IN A REACTIVE MEDIUM (Ar+O2) |
| Authors: | Филатов, М. С. Стогней, О. В. Filatov, М. S. Stogney, О. V. |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Уральский федеральный университет |
| Citation: | Филатов М. С. Структура градиентных пленок Ni-ZrO2 полученных с помощью магнетронного вч напыления в реактивной среде (Ar+O2) / М. С. Филатов, О. В. Стогней // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов V Международной молодежной научной конференции, посвященной памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова (Екатеринбург, 14–18 мая 2018 г.) : Секция 1. Физика конденсированного состояния. — Екатеринбург : [УрФУ], 2018. — C. 119-120. |
| Abstract: | In this paper we have established the effect of oxygen pressure on the structure of gradient films. It found that with increasing pressure of oxygen there is an increase in the amount of amorphous phase of zirconium oxide. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/110151 |
| Conference name: | V Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2018)», посвященная памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова |
| Conference date: | 14.05.2018-18.05.2018 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № 16-42-360778 р_а. |
| Origin: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2018) |
| Appears in Collections: | Конференции, семинары |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2018_1_069.pdf | 652,72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.